西门子医疗在福希海姆启用光子计数传感器半导体制造工厂

近日，西门子医疗在其德国福希海姆基地正式启用了全新的半导体晶元厂，这也是欧洲唯一一座同类型半导体工厂。新工厂将专门生产碲化镉（CdTe）半导体传感器，主要应用于X射线成像领域。光子计数CT搭载了这些传感器后，可实现更清晰的成像，同时有望降低辐射剂量。西门子医疗首席执行官孟天齐与300余位来自政府与医疗健康领域的代表、项目合作伙伴及员工共同出席启用仪式。该工厂建筑面积约9,500平方米，将以工业规模加工最高纯度的镉和碲。为确保以对环境负责的方式处理危险材料，西门子医疗投资数百万欧元建设了专用废气排放及废水处理系统。公司在工厂的设施建设及技术设备方面投资约1亿欧元，并将创造100余个就业岗位。该工厂于2023年开工建设，目前已全部竣工。

随着市场对光子计数CT的需求持续增长，西门子医疗位于日本的现有半导体传感器制造工厂逐步接近产能上限。"我们不希望依赖于日本单一基地战略。我们也希望能够在CT研发的核心所在地福希海姆，实现晶体的工业化量产。"西门子医疗CT探测器与晶体业务负责人Uwe Rückl表示，"这类传感器的生产工艺复杂，需要经过多个独立工艺步骤。" 该光子计数传感器工厂覆盖从石英组件的石墨涂层、籽晶和多晶体的形成到晶体受控生长的完整生产流程。镉和碲仅在约1,100摄氏度的高温下才能实现永久结合，镉碲化合物约需十周才能生长为单晶体。这些晶体在经过亚毫米级精度的切割和抛光后，在洁净室内通过光刻技术形成像素结构。随后，这些传感器将在公司CT生产基地被集成至光子计数CT设备中。

福希海姆的新工厂已获得LEED铂金级认证，并以可持续、碳中和的方式运营。例如，生产过程中产生的热量用于建筑供暖，容量170 kWp的屋顶光伏系统可就地生产可再生电力。注重环保的景观设计、浅色密封面和遮荫植被有助于防止热岛效应和建筑过热。西门子医疗选择适合当地的本土植物，以促进当地生物多样性。这与创新的LED照明方案相辅相成，在减少室外区域照明的同时，最大限度降低光污染并保护夜行野生动物。

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关于西门子医疗 

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